提供高精度質(zhì)量流量計(jì)與控制器，涵蓋氣體、液體及微型科氏系列。精度最高達(dá)±0.1%FS，量程范圍廣，適用于精密流體測(cè)量與控制。了解產(chǎn)品參數(shù)與選型。
采用熱式原理設(shè)計(jì)和傳感技術(shù)，確保流量測(cè)量精度高達(dá)±0.5%
零漂小，可靠性高，適用于各種氣體介質(zhì)
毫秒級(jí)響應(yīng)速度，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)流量變化
小巧體積，節(jié)省安裝空間，適合各種設(shè)備集成
高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器由質(zhì)量流量傳感器、層流分層件、流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。
準(zhǔn)確度±0.5%F.S，線性±0.5%F.S，重復(fù)精度±0.2%F.S
控制器響應(yīng)時(shí)間<0.25s，流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間<0.15s
高分辨率LCD觸摸屏，直觀操作，界面友好
氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩個(gè)傳感元件組成——流量傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將流量傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。
質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)出廠時(shí)一般用空氣或者氮?dú)鈽?biāo)定，實(shí)際使用中如果是其他氣體，必要時(shí)可進(jìn)行讀數(shù)修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
| 氣體 | 代號(hào) | 轉(zhuǎn)換系數(shù) | 氣體 | 代號(hào) | 轉(zhuǎn)換系數(shù) |
|---|---|---|---|---|---|
| 空氣 | 008 | 1.006 | 氮?dú)?/td> | 001 | 1.415 |
| 氬氣 | 004 | 1.415 | 氮?dú)?/td> | 013 | 1.000 |
| 氧氣 | 015 | 0.992 | 氫氣 | 007 | 1.010 |
| 二氧化碳 | 025 | 0.737 | 甲烷 | 028 | 0.719 |
| 氨氣 | 029 | 0.719 | 氦氣 | 002 | 1.415 |
注：以上為部分常用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)，完整的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表請(qǐng)參考產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)。對(duì)于混合氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)需按特定公式計(jì)算。
觸摸屏氣體質(zhì)量流量控制器提供多種型號(hào)，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求：
| 量程類型 | 型號(hào)代碼 | 量程范圍 | 精度 | 接頭類型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
觸摸屏氣體質(zhì)量流量計(jì)提供多種型號(hào)，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求：
| 量程類型 | 型號(hào)代碼 | 量程范圍 | 精度 | 接頭類型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
| 大量程流量計(jì) | CX-GMFM-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法蘭 |
注：以上為標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，可根據(jù)客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質(zhì)。所有產(chǎn)品出廠通常用氮?dú)?N?)標(biāo)定，如需要使用其他氣體標(biāo)定，請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)說(shuō)明。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15K (0℃); 氣壓---101325 Pa (760mm Hg)。
選擇適合的觸摸屏氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器時(shí)，請(qǐng)考慮以下因素：
| 考慮因素 | 選擇要點(diǎn) | 建議 |
|---|---|---|
| 流量范圍 | 根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的最大和最小流量確定 | 選擇量程比實(shí)際最大流量稍大的型號(hào) |
| 氣體類型 | 氣體種類，腐蝕性或非腐蝕性 | 根據(jù)氣體選擇相應(yīng)的密封材料和轉(zhuǎn)換系數(shù) |
| 控制需求 | 只需測(cè)量還是需要控制 | 測(cè)量選擇M(流量計(jì))，控制選擇C(控制器) |
| 壓力條件 | 工作壓差和最大耐壓 | 確保產(chǎn)品耐壓高于系統(tǒng)最大壓力 |
| 信號(hào)輸出 | 模擬量或數(shù)字量接口 | 根據(jù)控制系統(tǒng)要求選擇 |
| 安裝環(huán)境 | 空間限制，操作便利性 | 觸摸屏便于現(xiàn)場(chǎng)操作和監(jiān)控 |
溫馨提示：使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量控制器出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量控制器出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量控制器。如果您不確定如何選擇合適的型號(hào)，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。
| 測(cè)量精度 | ±0.5%F.S |
|---|---|
| 工作溫度 | 0 ～ 50℃ |
| 流量范圍 | 0~3000SLM |
| 測(cè)控范圍 | 控制器閥控范圍 50：1 流量計(jì)量程比 100：1 |
| 數(shù)字量 | RS232/485，MODBUS 協(xié)議 |
| 模擬量 | 0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB9、RJ11、5.5×2.1電源快插 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 底座材質(zhì) | 316L |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密氣體流量測(cè)量和控制的場(chǎng)合。
用于擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝
用于化工過(guò)程控制、反應(yīng)釜加注、混氣配氣系統(tǒng)
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