提供復(fù)合真空計/真空規(guī),集成皮拉尼與電離兩種測量原理,實現(xiàn)從粗真空到高真空的寬量程連續(xù)測量。測量范圍可達1E-5~1E+5Pa,響應(yīng)快、精度高,適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體、科研等領(lǐng)域。了解型號與參數(shù)。
CX-PRN15熱陰極真空計,集成皮拉尼與熱陰極技術(shù),測量范圍1×10??~1×10?Pa,響應(yīng)<100ms。配備5位LED顯示、兩路可編程控制開關(guān)、RS485通訊及模擬輸出,適用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研等高真空測量場景。
CX-PRN14冷陰極復(fù)合真空計,集成皮拉尼與反置磁控冷陰極技術(shù),測量范圍1×10??~1×10?Pa,響應(yīng)<100ms。配備5位LED顯示、兩路可編程控制開關(guān)、RS485及模擬輸出,適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體、真空爐等工業(yè)與科研場景。
CX-PRN410全量程真空規(guī),集成皮拉尼與冷陰極技術(shù),測量范圍1×10??~1×10?Pa。提供RJ45與DB9接口可選,支持模擬輸出、RS485通訊及可編程控制開關(guān),便于PLC/DCS系統(tǒng)集成。適用于半導(dǎo)體、自動化設(shè)備、真空系統(tǒng)配套等場景。
CX-PRN11復(fù)合真空計,集成MEMS壓電與皮拉尼傳感器,實現(xiàn)從5.0×10?2 Pa到大氣壓的連續(xù)測量,響應(yīng)快,支持雙控制點輸出。適用于真空鎖、真空爐等需寬量程監(jiān)測的場景。