直接測量質量流量，精度高，重復性好，量程比寬
316L不銹鋼材質，適用于各種腐蝕性介質
響應速度，實時監(jiān)測流量變化
小巧體積，節(jié)省安裝空間，適合各種設備集成
微型科氏質量流量計/控制器可以對流體介質的質量流量進行精確的測量和精密的控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
直接測量質量流量，精度高，對流體介質的溫度、壓力和粘度等不敏感
重復性好，量程比寬，適用于各種流體介質
適用于電子工藝設備、鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置等高端應用
微型科氏質量流量計/控制器由流量管、陶瓷震蕩器、光電信號拾取器、電阻溫度計、電信號處理單元、顯示單元和電磁控制閥等組成，信號拾取器1位于流量輸入端，信號拾取器2和3位于流量輸出端.信號拾取器1和2相對于流量管中軸對稱。
科氏質量流量控制器開機后流量管被陶瓷震蕩器激勵做自激振蕩，直至平衡。此時三個信號拾取器處將持續(xù)產生正弦波電壓信號。當流體介質沒有流動時，三個流量管信號拾取器所在位置沒有相對形變，沒有產生科里奧利力，產生的正弦波電壓信號相位差為0.當流體介質流動時，信號拾取器1和2處產生的科里奧利力方向相反，使流量管產生扭曲運動，從而使信號拾取器1和2處所產生的正弦波電壓信號相位差不為0，由于相位差和質量流量成正比，根據之前標定的數據計算出質量流量。而信號拾取器3用于相位補償。
流量控制采用PID算法控制電磁閥，精確并快速的控制流量管中的流體質量流量達到設定值。
微型科氏質量流量計/控制器提供多種型號，滿足不同應用場景的需求：
| 產品類型 | 型號代碼 | 量程范圍 | 精度 | 主要應用 |
|---|---|---|---|---|
| 質量流量計 | CX-CMFM-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 實驗室研究、分析儀器 |
| 質量流量計 | CX-CMFM-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | 半導體工藝、特種材料 |
| 質量流量計 | CX-CMFM-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 化工過程、石油工業(yè) |
| 質量流量計 | CX-CMFM-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 工業(yè)批量生產、環(huán)保監(jiān)測 |
| 質量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 精密配氣、科研實驗 |
| 質量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | CVD、等離子刻蝕、濺射 |
| 質量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 光纖熔煉、微反應裝置 |
| 質量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 混氣配氣系統(tǒng)、工業(yè)控制 |
注：以上為標準型號，可根據客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質。所有產品出廠通常用氣體氮氣(N?)液體水(HO?)標定，如需要使用其他氣體標定，請在訂貨時說明。
選擇適合的微型科氏質量流量計/控制器時，請考慮以下因素：
| 考慮因素 | 選擇要點 | 建議 |
|---|---|---|
| 流量范圍 | 根據實際應用的最大和最小流量確定 | 選擇量程比實際最大流量稍大的型號 |
| 介質類型 | 氣體或液體，腐蝕性或非腐蝕性 | 根據介質選擇相應的密封材料和接頭材質 |
| 精度要求 | 根據工藝要求的控制精度確定 | 常規(guī)應用選擇±0.5%，高精度應用可選擇更高等級 |
| 壓力條件 | 工作壓差和最大耐壓 | 確保產品耐壓高于系統(tǒng)最大壓力 |
| 控制需求 | 只需測量還是需要控制 | 測量選擇CMFM，控制選擇CMFC |
| 接口類型 | 電氣接口和氣路接頭 | 確保與現有系統(tǒng)兼容 |
溫馨提示：如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術團隊可以提供免費的選型咨詢服務。請?zhí)峁┠膽脠鼍?、介質特性、流量范圍、壓力條件和精度要求等信息。
| 量程范圍 | 0~300kg/h |
|---|---|
| 重復精度 | ±0.1% FS |
| 耐壓 | 3.0 MPa |
| 線性 | ±0.1~0.5% FS |
| 工作壓差 | 0.1~0.5 MPa |
| 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
| 準確度 | ±0.5% FS（氣） ±0.25% FS（液） |
| 數字量接口 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
| 供電 | DC +24V |
| 電氣連接 | DB15 |
| 漏率 | 1×10?? SCCS He |
| 底座材質 | 16L不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注：以上參數為標準配置，可根據客戶需求定制特殊規(guī)格產品。
微型科里奧利質量流量計/控制器廣泛應用于各種工業(yè)領域，特別適合需要精密流量測量和控制的場合。
用于擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等電子工藝設備
用于化工過程控制、反應釜加注、混氣配氣系統(tǒng)、微反應裝置
用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測
用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量
用于實驗室研究、分析儀器、氣相色譜儀、毛細管測量等科研場合
用于真空鍍膜、真空爐等設備中的氣體流量控制
用于光纖熔煉過程中的精密氣體流量控制
用于特種材料學科研發(fā)與生產中的氣體流量精確測量和控制
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高精度氣體質量流量計/控制器，精度高達±0.5%F.S，配備高分辨率觸摸屏，響應快。量程范圍0-3000SLM，適用于半導體、光伏、分析儀器等對精度要求嚴苛的場合。
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