提供復(fù)合真空計(jì)/真空規(guī)，集成皮拉尼與電離兩種測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)從粗真空到高真空的寬量程連續(xù)測(cè)量。測(cè)量范圍可達(dá)1E-5~1E+5Pa，響應(yīng)快、精度高，適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體、科研等領(lǐng)域。了解型號(hào)與參數(shù)。
集成皮拉尼與熱陰極技術(shù)，量程覆蓋 1.0×10?? Pa 至 1.0×10? Pa
提供兩路獨(dú)立可設(shè)定的控制開關(guān)，支持真空度閾值控制
支持模擬電壓輸出、RS485 Modbus-RTU 通訊
5位LED數(shù)字顯示，單位可選，支持按鍵設(shè)置參數(shù)與校準(zhǔn)
CX-PRN15 是一款集成皮拉尼（Pirani）與熱陰極（Hot Cathode）技術(shù)的寬量程真空計(jì)，適用于從高真空到低真空的連續(xù)測(cè)量。該產(chǎn)品具備獨(dú)立的真空計(jì)功能，帶有5位LED數(shù)字顯示，支持按鍵設(shè)置參數(shù)、兩路可設(shè)置控制開關(guān)、模擬電壓輸出及RS485通訊（Modbus-RTU協(xié)議）。
集成皮拉尼（1.0×10? ~ 1.0×10? Pa）與熱陰極（1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)寬范圍連續(xù)測(cè)量。
提供兩路獨(dú)立可設(shè)置的控制開關(guān)，可通過(guò)按鍵或通訊設(shè)置切換點(diǎn)，適用于真空系統(tǒng)自動(dòng)控制。
支持模擬電壓輸出（0-10 VDC）、RS485 Modbus-RTU 通訊。
CX-PRN15 采用皮拉尼與熱陰極復(fù)合傳感器技術(shù)。皮拉尼部分基于熱傳導(dǎo)原理，適用于中低真空測(cè)量；熱陰極部分基于電離原理，適用于高真空測(cè)量。兩者通過(guò)智能算法自動(dòng)切換，實(shí)現(xiàn)全量程連續(xù)測(cè)量。
D-Sub 9針母頭焊接側(cè)引腳定義如下：
| 引腳 | 信號(hào) | 說(shuō)明 |
|---|---|---|
| 1 | 電源 GND | 電源地 |
| 2 | 電源 +24VDC | 直流24V正極 |
| 3 | 模擬量 GND | 模擬輸出地 |
| 4 | 模擬量輸出 | 真空度對(duì)應(yīng)電壓輸出（0-10 VDC） |
| 5 | 控制點(diǎn)輸出 A | 控制開關(guān)A輸出 |
| 6 | 控制點(diǎn)輸出公共點(diǎn) | 控制開關(guān)公共端 |
| 7 | 控制點(diǎn)輸出 B | 控制開關(guān)B輸出 |
| 8 | RS485 D- | RS485通訊數(shù)據(jù)- |
| 9 | RS485 D+ | RS485通訊數(shù)據(jù)+ |
模擬電壓輸出與真空壓強(qiáng)的關(guān)系為：
P = 101.222(U - C) 或 U = C + 0.818·log??(P)
其中：
P：真空壓強(qiáng)（Pa、mBar 或 Torr）
U：輸出電壓（V）
C：?jiǎn)挝怀?shù)（Pa: 5.909；mBar: 7.545；Torr: 7.647）
設(shè)備頂部設(shè)有3個(gè)按鍵：FN、?（向前）、▼（向下）。
大氣壓強(qiáng)校準(zhǔn)：長(zhǎng)按FN至LED顯示“ATP”并閃爍，按?鍵，3秒內(nèi)完成校準(zhǔn)。
設(shè)置控制點(diǎn)A/B：長(zhǎng)按FN至顯示“一”或“二”閃爍，用?選擇項(xiàng)目，▼調(diào)整數(shù)值，松開后自動(dòng)保存。
單位選擇：長(zhǎng)按FN至顯示“U”閃爍，按?循環(huán)切換Pa、Torr、mBar。
兩路獨(dú)立控制開關(guān)可在1.0×10?1 Pa ~ 9.9×10? Pa范圍內(nèi)設(shè)置切換點(diǎn)。當(dāng)真空壓強(qiáng)低于設(shè)定值時(shí)輸出“ON”，高于設(shè)定值110%時(shí)輸出“OFF”。
測(cè)量結(jié)果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮?dú)庑?zhǔn)。其他氣體需乘以校正因子C：
| 氣體類型 | 校正因子 C |
|---|---|
| 空氣、O?、CO | 1.0 |
| N? | 1.0 |
| He | 5.9 |
| Ne | 4.1 |
| H? | 2.4 |
| Ar | 0.8 |
| Kr | 0.5 |
| Xe | 0.4 |
CX-PRN15 系列提供多種配置選項(xiàng)，可根據(jù)接口類型和電控功能進(jìn)行選型，滿足不同應(yīng)用需求。
| 參數(shù) | 規(guī)格 | 備注 |
|---|---|---|
| 測(cè)量范圍（空氣, N?） | 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa | 集成皮拉尼+熱陰極技術(shù) |
| 精度 | 1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35% 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50% | 基于空氣/N?校準(zhǔn) |
| 重復(fù)性 | 1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5% 1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25% | - |
| 耐壓（絕對(duì)壓力） | 1.5×10? Pa | 最大允許壓力 |
| 反應(yīng)時(shí)間 | < 100 ms | - |
| 工作溫度 | 0°C ~ +45°C | 濕度5~85%，不結(jié)露 |
| 存儲(chǔ)溫度 | -40°C ~ +75°C | 濕度5~90%，不結(jié)露 |
| 供電電源 | 24 VDC ±5% / 0.5A | 整機(jī)最大功耗 12.0W |
| 信號(hào)輸出 | 5位LED顯示（Pa/Torr/mBar） RS485 Modbus-RTU 0~10 VDC模擬輸 | - |
| 控制開關(guān) | 2路獨(dú)立可設(shè)置開關(guān) | 切換范圍：1.0×10?1 ~ 9.9×10? Pa |
| 防護(hù)等級(jí) | IP40 | IEC529標(biāo)準(zhǔn) |
| 真空接口 | 默認(rèn)：DN25 ISO-KF | 其他接口可定制 |
| 接觸真空材料 | SS304不銹鋼，Kovar 4150，鎢絲，饋通玻璃 | - |
| 重量 | 450g（標(biāo)準(zhǔn)KF25法蘭） | - |
| 尺寸（H×W×D） | 130×60×50 mm | 包括KF25法蘭 |
測(cè)量結(jié)果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮?dú)庑?zhǔn)。其他氣體需乘以校正因子C：
| 氣體類型 | 校正因子 C | 實(shí)際壓力 Peff = C × 顯示壓力 |
|---|---|---|
| 空氣、O?、CO | 1.0 | 與顯示值相同 |
| N? | 1.0 | 與顯示值相同 |
| He | 5.9 | 顯示值×5.9 |
| Ne | 4.1 | 顯示值×4.1 |
| H? | 2.4 | 顯示值×2.4 |
| Ar | 0.8 | 顯示值×0.8 |
| Kr | 0.5 | 顯示值×0.5 |
| Xe | 0.4 | 顯示值×0.4 |
根據(jù)您的應(yīng)用需求選擇合適的型號(hào)配置：
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | 推薦配置 | 推薦理由 |
|---|---|---|
| 實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備 | CX-PRN15A00（KF25） | 接口通用，功能完整，適合多種實(shí)驗(yàn)需求 |
| 工業(yè)真空系統(tǒng)集成 | CX-PRN15B01（KF40） | 大口徑接口，成本優(yōu)化 |
| 超高真空設(shè)備 | CX-PRN15C00（CF25） | CF法蘭密封性好，適合高真空環(huán)境 |
| 遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)應(yīng)用 | CX-PRN15A00（標(biāo)準(zhǔn)配置） | 支持遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集 |
| 成本敏感型應(yīng)用 | CX-PRN15A02（KF25 + 基礎(chǔ)功能） | 精簡(jiǎn)功能，滿足基本測(cè)量需求 |
| 半導(dǎo)體制造設(shè)備 | CX-PRN15D00（CF35 + 全功能） | 大尺寸CF法蘭，適合工藝腔體集成 |
溫馨提示：以上為常規(guī)推薦配置，如需特殊定制（如其他真空接口、特殊材料、擴(kuò)展功能等），請(qǐng)聯(lián)系我們的技術(shù)工程師提供定制化解決方案。
注意事項(xiàng)：對(duì)于混合氣體或蒸汽環(huán)境，建議使用殘余氣體分析儀（RGA）進(jìn)行精確分壓強(qiáng)測(cè)量。
| 反應(yīng)時(shí)間 | <100ms |
|---|---|
| 重量 | 450 g |
| 耐壓 | 1.5×10?Pa |
| 測(cè)量范圍 | 1.0×10?? Pa ~ 1.0×10? Pa |
| 防護(hù)等級(jí) | IP40（IEC529） |
| 精度 | 1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35% 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50% |
| 重復(fù)性 | 1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5% 1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25% |
| 工作環(huán)境 | 0℃ ~ +45℃；濕度 5% ~ 85%，不結(jié)露 |
| 存儲(chǔ)環(huán)境 | -40℃ ~ +75℃；濕度 5% ~ 90%，不結(jié)露 |
| 真空接口 | 默認(rèn) DN25 ISO-KF，其他接口可定制 |
| 接觸真空材料 | SS304不銹鋼、Kovar 4150、鎢絲、饋通玻璃 |
注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
CX-PRN15 適用于多種需要寬范圍、高可靠性真空測(cè)量的工業(yè)與科研場(chǎng)合：
用于PVD、CVD、刻蝕等工藝腔體的真空度監(jiān)測(cè)
適用于真空鍍膜、材料分析、表面科學(xué)等實(shí)驗(yàn)室裝置
用于真空燒結(jié)、釬焊、退火等工藝的真空控制
用于凍干機(jī)、滅菌柜、生物反應(yīng)器的真空監(jiān)測(cè)
用于醫(yī)用真空泵、吸引裝置、消毒設(shè)備的真空控制
適用于包裝、注塑、電子束焊接等行業(yè)的真空監(jiān)測(cè)
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